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GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 40577-2021标准基本信息

标准名称:集成电路制造设备术语

标准号:GB/T 40577-2021

发布日期:2021-10-11

实施日期:2022-05-01

中国标准分类:L95

国际标准分类:31 电子学,31.220 电子电信设备用机电元件

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司。

GB/T 40577-2021预览图:

GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

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